台中市龍井區Liaxxx委託:軟體開發需求
RD 工作
web 接案
Programmer 工作
您需要開發的項目是?
後台管理系統
您希望使用哪種程式語言?
不清楚,聽從專家的建議
您需要其他服務嗎?
聽從專家的建議
您的項目目前狀態為?
只有想法
[選填] 簡單說明軟體內容、設計目的、期望目標或其他所需要的設計細節
本研究擬針對半導體製程中之加熱帶(Heating Jackets / Heating Tapes)溫度控制問題進行模擬與分析。
在半導體製造過程中,加熱帶扮演關鍵角色,其主要功能不僅為提供熱源,更在於維持製程氣體於氣態狀態,以避免化學反應副產物因溫度下降而產生冷凝現象。若發生冷凝,將導致固體顆粒沉積於管路內部,進而造成類似「血管阻塞」之現象,使排氣管路堵塞、真空壓力不穩,甚至損害高價之真空幫浦(Dry Pump),影響整體製程穩定性與設備壽命。
因此,加熱帶需將管路溫度穩定維持於約100°C至200°C以上,以確保製程廢氣能順利輸送至尾氣處理系統(Scrubber)進行後續處理。
本研究將建立一套加熱帶溫度控制之模擬系統,首先以PID控制器為基礎,設計可於0–200°C範圍內達到穩定溫度追蹤之控制架構;進一步結合模糊控制(Fuzzy Control),以提升系統在非線性及外部擾動條件下之穩定性與魯棒性。
交件類型為?
一般件
您的預算大約為何?
沒有預算概念
您希望如何與專家合作? (可複選)
透過電話或網路進行
還有什麼需要注意的地方嗎?
沒有
您需要服務的地區為何?
台中市,龍井區